ISO 14644-1 潔凈標準中文完整版（附PDF版下載）全文
歡迎閱讀標題為“ISO 14644-1 潔凈標準中文版完整（附PDF版下載）全文”的文章，該標準全名為“潔凈室和相關受控環境 – 第 1 部分：按顆粒濃度對空氣清潔度進行分類”。該文件主要討論了潔凈室和潔凈區空氣清潔度的分類，測試和監測空氣清潔度的程序，以及ISO 14644中涉及污染控制各個方面的不同部分。下面是中文版的文本全文！如需要下載PDF版的請點我！
國際的 標準
ISO
14644-1
第二版 2015-12-15
潔凈室和相關的受控環境
第1部分：
按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級
潔凈室和相關受控環境
第］部分:顆粒空氣潔凈度分級
參考編號
ISO 14644-l:2015(E)
?國際標準化組織2015
ISO 1464牛 l:2015(E)
受版權保護的文件
? I SO 2015，瑞士出版。保留所有權利。除非
另有規定，否則未經事先書面許可，不得以任何形式或通過任何電子或機械方式復制或使用本出版物的任何部分，包括影印或在互聯網或內聯網上發 布。可以通過以下地址向ISO或請求者所在國家/地區的ISO成員機構請求許可。
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? ISO 2015 -版權所有本文件由
內容
前言 iv
介紹 v
八 范圍
2個 規范性引用
術語和定義 13.1M
述 13.2空氣中的顆粒
物 2 3.3占用狀
態 3 3.4測試儀器（見附錄
F） ； ；3 3.5儀器規
格 4
分類 44.1占瞅
態 4 4.2顆粒尺
寸 4 4.3 ISO等級編
號 4名
5.1原理.
試 6 5.3空氣懸浮粒子濃度評
估 6 5.4測試報
告 6附斟（規范性附錄）空氣潔凈度分級參
考方法
?8附錄B （資料性附錄）分類計算
附錄E （資料性附錄）中間十進位清潔度等級和規范
粒度閾值 34附錄F （資料性附錄）測試儀
器 36參考書
目 37
ISO 14644-l:2015（E）
前言
ISO （國際標準化組織）是各國標準機構（ISO成員機構）的全球聯合會。國際標準的制定工作通常通過ISO技術委員會進行。每個對已設立技術委員 會的主題感興趣的成員團體都有權派代表參加該委員會。與ISO聯絡的國際組織、政府和非政府組織也參與了這項工作。
ISO與國際電工委員會（IEC）在電工標準化的所有事務上密切合作。
在ISO/IEC指令第1咅盼中描述了用于制定本文件的程序以及用于進一步維護的程序。尤其應注意不同類型的ISO文件所需的不同 批準標準。本文件是根據ISO/IEC指令第2部分的編輯規則起草的（參見www.iso.org/directives）。
請注意本文檔的某些元素可能是專禾亦又的主題。ISO不負責識另M壬何或所有此類專禾椒。在文檔開發過程中確定的任何專利權的詳 細信息將在簡介和/或收到的ISO專利聲明列表中（參見www.iso.org/patents）。
本文檔中使用的任何商品名稱都是為方便用戶而提供的信息，并不構成對其的認可。
有關ISO與合格評定相關的特定術語和表達含義的解釋，以及有關ISO在技術規范中遵守WT0原則的信息
貿易壁壘（TBT）請參閱以下URL ：前言-補充信息
負責本文件的委員會是 ISO/TC 209， Cleanrooms and associated controlled 環境。
第二版取消并取代了第—版（ISO 14644-1:1999）后者在整個技術上進行了修訂。
ISO 14644由以下部分組成，總標題為潔凈室和相關受控
環境：
第1部分:f安顆粒濃度對空氣潔凈度進行分類
第2部分:監測以提供與顆粒空氣潔凈度相關的潔凈室性能的證據
專注
第3部分:試驗方法
第4部分:設計、建造和啟動
第5部分:操作
第了部分:隔離裝置（潔凈空氣罩、手套箱、隔離器和微環境）
第8部分:按化學物質濃度（ACC）劃分的空氣潔凈度分類
第9部分按顆粒濃度分類表面清潔度
第10部分:按化學濃度分類的表面清潔度
還提請注意ISO 14698、潔凈室和相關的受控環境
生物污染控制：
第1部分:一般原則和方法
第2部分:生物污染數據的評估和解釋
潔凈室和相關的受控環境用于控制空氣污染，并在適當時控制表面污染，使其達到適合完成污染敏感活動的水平。
污染控制有利于保護航空航天、微電子、制藥、醫療設備、醫療保健和食品等行業應用中的產品或過程完整性。
ISO 14644的這一部分根據以空氣體積中的濃度表示的顆粒數量規定了空氣潔凈度等級。它還規定了確定清潔等級的標準測 試方法，包括采樣位置的選擇。
此版本是對ISO系統審查的回應的結果，包括對經國際調查驗證的用戶和專家反饋的回應所做的更改。標題已修改為“按顆粒 濃度對空氣清潔度進行分類”，以與ISO 14644的其他部分保持一致。九個ISO清潔度等級保留并稍作修改。表1定義了九個 整數類別在不同粒徑下的顆粒濃度。表E.1定義了中間級別在不同粒徑下的較大顆粒濃度。使用這些表格可確保更好地定義不 同類別的適當粒徑范圍。ISO 14644的這一部分保留了大粒子描述符的概念撚而，納米級顆粒（以前定義為超細顆粒）的考 慮將在單獨的標準中解決。
顯著的變化是采用更一致的統計方法來選擇和抽樣地點的數量；以及對收集到的數據的評估。統計模型基于超幾何抽樣模型 技術的改編，其中樣本是隨機抽取的，無需從有限總體中進行替換。新方法允許以至少95%的置信度獨立處理每個位置，即至 少90%的潔凈室或潔凈區區域將符合目標空氣潔凈度等級的較大顆粒濃度限制。
未對潔凈室或潔凈區內的實際顆粒數分布做出任何假設；而在ISO 14644-1:1999中，一個基本假設是粒子數在整個房間內遵 循相同的正態分布，該假設現在已被放棄，以允許在粒子數以更復雜的方式變化的房間中使用采樣.在修訂過程中，人們認識到 95% UCL既不合適也沒有在ISO1464牛1:1999中得到一致應用。與ISO 14644-1:1999相比，所需采樣點的少數量已更 改。提供了一個參考表，即表A.1，以根據采樣模型技術的實際調整來定義所需的少采樣位置數。假設緊鄰每個采樣位置的區 域具有均勻的粒子濃度。潔凈室或潔凈區區域被劃分為面積接近相等的部分網格，其數量等于表A.1中得出的采樣點數量。采 樣位置放置在每個網格部分內，以代表該網格部分。
出于實際目的，假定這些位置是有代表性地選擇的；“代表性”位置（見A.4.2）是指在選擇采樣位置時應考慮潔凈室或潔凈 區布局、設備布置和気流系統等特征。額外的采樣位置可以添加到小數量的采樣位置。
對附件進行了重新排序以改進ISO 14644這部分的邏輯，并且某些附件中有關測試和測試儀器的部分內容已包含在
ISO 14644-3:2005。
ISO 14644這部分的修訂版通過適應大顆粒概念解決了歐盟、PIC/S和WHO GMP無菌產品附件中ISO 5級》5 ym的顆 粒限制。
ISO 14644這部分的修訂版現在包括與按顆粒濃度對空氣潔凈度分類相關的所有事項。ISO 14644-2:2015的修訂版現在 專門處理通過顆粒濃度監測空氣清潔度。
除了通過顆粒濃度對空氣潔凈度進行分類之外，潔凈室還可以通過屬性來表征。其他屬性，例如化學濃度方面的空氣清潔度，可 能
ISO 14644-l:2015(E)
進行監控，并且可以指定屬性的等級或級別以及ISO清潔等級的分類。這些附加屬性不足以單獨對潔凈室或潔凈區進行分類。
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潔凈室和相關的受控環境
第1部分：
按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級
1適用范圍
ISO 14644的這一部分根據潔凈室和潔凈區中空氣中顆粒物的濃度規定了空氣潔凈度的分類；和ISO 1464牛7中定義的分離 設備。
只有具有基于閾值（下限）粒徑范圍從0.1 nm到5 nm的累積分布的顆粒群才被考慮用于分類目的。
使用光散射（離散）氣載粒子計數器（LSAPC）是確定指定采樣點處等于和大于指定尺寸的氣載粒子濃度的基礎。
ISO 14644的這一部分不對超出規定的下限粒度范圍（0.1 um至5 um）的粒子群進行分類。超細顆粒（小于0.1 nm的顆 粒）的濃度將在單獨的標準中說明，以指定納米級顆粒的空氣清潔度。M描述符（見附錄C）可用于量化大粒子（大于5nm 的粒子）的數量。
ISO 14644的這一部分不能用于表征空氣中顆粒的物理、化學、放射學、活性或其他性質。
2規范性引用文件
下列文件的全部或部分在本文件中規范性地引用并且對于本文件的應用是必不可少的。對于注明日期的參考文獻，僅引用的版 本適用。對于未注明日期的引用，適用引用文件的新版本（包括任何彳彥訂）。
ISO 14644-2:2015，潔凈室和相關的受控環境 第2咅盼:監測以提供與顆粒濃度相關的空氣潔凈度相關的潔凈室性能證據
ISO 1464牛7，潔凈室和相關受控環境 第7部分:分離裝置（潔凈空氣罩、手套箱、隔離器和微型環境）
3術語和定義
出于本文檔的目的，以下術語和定義適用。
3.1總則
3.1.1
潔凈室
cleanroom控制和分類空氣中顆粒物數量濃度的房間，其設計、建造和運行方式可控制室內顆粒物的引入、產生和滯留
條目注1：規定了空氣中顆粒物濃度的等級。
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條目注2 :其他清潔度屬性的水平，例如空氣中的化學、活性或納米級濃度，以及顆粒、納米級、化學和活性濃度方面的表面清潔 度，也可能被指定和控制。
注3 :其他相關的物理參數也可以根據需要進行控制，例如溫度、濕度、壓力、振動和靜電。
3.1.2
清潔區定義的
空間，其中空氣懸浮顆粒的數量濃度受到控制和分類，其建造和運營方式可控制空間內污染物的引入、產生利呆留
條目注1：規定了空氣中顆粒物濃度的等級。
注2 :其他清潔度屬性的水平，例如空氣中的化學、活性或納米級濃度，以及顆粒、納米級、化學和活性濃度方面的表面清潔度，也 可能被指定和控制。
條目注3:潔凈區可以是潔凈室內定義的空間，也可以通過分離裝置實現。這種設備可以位于潔凈室的內部或外部。
注4 :其他相關的物理參數也可以根據需要進行控制，例如溫度、濕度、壓力、振動和靜電。
3.1.3
安裝潔凈室或
—個或多個潔凈區，連同所有相關結構、空氣處理系統、服務和公用設施
3.1.4
根據潔凈室或潔
凈區規范評定潔凈度等級的分級方法
條目注1：級別應以ISO等級表示，它表示單位體積空氣中顆粒的較大允許濃度。
3.2空氣中的顆粒物
3.2.1
粒子具有 明確廟理邊界的微小物質
3.2.2
粒度 particle
size球體的直徑，通過給定的粒度儀，其產生的響應與被測顆粒產生的響應相同
注1：對于離散粒子光散射儀器，使用等效光學直徑。
3.2.3
粒子濃度particle
concentration單位體積空氣中單個粒子的數量
3.2.4
particle size distribution粒子
濃度作為粒子大小函數的累積分布
3.2.5
大粒子
macroparticle當量直徑大于5 |_im的粒子
3.2.6
M描述符指定每
立方米空氣中大顆粒的測量或規定濃度，以所用測量方法的特征當量直徑表示
注1 ：M描述符可被視為采樣位置平均值的上限。
M描述符不能用于定義ISO類，但M描述符可以單獨引用或與ISO類一起引用。
3.2.7
單向氣流 unidirectional
airflow以穩定的速度通過潔凈室或潔凈區整個橫截面的受控氣流，氣流被認為是平行的。
3.2.8
non-undirectional airflow air distribution進入潔凈室或潔凈區的送風通過感應方式與內部空氣混合。
3.3占用狀態
3.3.1
潔凈室或
潔凈區已完成，所有服務已連接并正常運行但沒有設備、家具、材料或人員在場的竣工狀態
3.3.2
靜止狀
態潔凈室或潔凈區已完成設備安裝并按商定的方式運行，但沒有人員在場
3.3.3
潔凈室或潔凈
區以規定方式運行、設備運行和規定人數在場的操作約定條件
3.4測試儀器（見附錄F）
3.4.1
分辨率
resolution^起相應示值可察覺變化的被測量的小變化
條目注1 :分辨率可能取決于，例如臊聲（內部或外部減摩擦。它還可能取決于被測數量的值。
[來源 JSO/IEC 指南 99:2007，4.14]
3.4.2
較大允許測量誤差 maximum permissible
measurement error相對于已知參考量值的測量誤差的極值，由給定測量、測量儀器或測量系統的規范或規定允許 注1：通常，術語“較大允許誤差”或“誤差極限”用于存在兩個極值的地方。
注2：術語“公差”不應用于表示“較大允許誤差”。
[來源 JSO/IEC 指南 99:2007，4.26]
ISO 14644-l:2015（E）
3.5儀器規格
3.5.1
LSAPC
light scattering airborne particle counter 光散射離
散空氣傳播粒子計數器儀器，能夠對單個空氣傳播粒子進行計數和
大小測量，并根據等效光學直徑報告大小數據
注1：LSAPC的規范在ISO 21501-4:2007中給出。
3.5.2
discrete-macroparticle counter
instru ment能夠對單個空氣傳播的大顆粒進行計數和分級的儀器
注］:規范見表F. 1 o
3.5.3
飛行時間粒度儀discrete-particle counting and
sizeing apparatus通過測量顆粒適應空氣速度變化的時間來確定顆粒的空氣動力學直徑
條目注1 :這通常是通過測量流體速度變化后的光學粒子渡越時間來完成的。
注2：規范見表F.2。
4分類
4.1占用狀態
潔凈室或潔凈區空氣顆粒濃度的空氣潔凈度等級應在三種占用狀態中的一種或多種中定義，即。“竣工”、“靜止”或“運行”（見
3.3） □ 一
4.2粒徑
一個或多個位于＞0.1 口m至＞5 口m范圍內的閾值（下限）顆粒尺寸用于確定空氣潔凈度顆粒濃度以進行分類。
- 4.3?ISO等級編號
按顆粒濃度劃分的空氣潔凈度等級應由ISO等級編號N指定。每個考慮的顆粒尺寸的較大允許顆粒濃度由表1確定。
表1中不同閾值的粒子數濃度并不反映空氣中的實際粒子大小和數量分布，僅作為堆標準。分類計算的例子包含在附件B中。
? ISO 2015 -版權所有本文件由
表1按顆粒濃度劃分的ISO空氣潔凈度等級
| ISO等級編號（N） | 等于和大于所考慮尺寸的顆粒的較大允許濃度（顆粒/立方米），如下所示a | |||||
| 0.1微米 | 0，2微米 | 0.3微米 | 0.5微米 | 1微米 | 5微米 | |
| ； | 10b | d | d | d | d | ； |
| 2-t- | 100 | 24b | 10 b | d | d | ； |
| 3-r | 1000 | 237 | 102 | 35 b | d | ”. |
| 4個 | 10 000 | 2 370 | 1020 | 352 | 83 b | ； |
| ； | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | d，e，f |
| 6午 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
| 7 | C | c | c | 352 000 | 83 200 | 2 930 |
| 時 | C | c | c | 3 520 000 | 832 000 | 29 300 |
| 9克 | C | c | c | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 |
| A 表中的所有濃度都是累積的，例如，對于ISO 5級，0.3 nm處顯示的10 200個顆粒包括所有等于和大于該尺寸的顆粒。b這些濃度將導致用于分類的大量空氣樣本。可采用順序抽樣程序；見附錄D。c由于顆粒濃度特別高，濃度限值不適用于表中的這個區域。d低濃度顆粒的采樣和統計限制使分類不合適。e由于采樣系統中潛在的顆粒損失，低濃度和尺寸大于1 nm的兩種顆粒的樣品收集限制使得在此顆粒尺寸下的分類不合適。F 為了指定與ISO等級5相關的該粒徑，大粒子描述符M可以適用并與至少一種其他粒徑結合使用。（見C.7O ；）g該等級僅適用于運行狀態。 |
4.4名稱
潔凈室和潔凈區空氣懸浮粒子濃度的指定應包括
a） ISO等級編號，表示為“ISO等級N”，
b） 分類適用的占用狀態，以及
c） 考慮的粒徑。
如果要在多個考慮的粒徑下進行測量，則每個較大的粒徑（例如D2）應至少是下一個較小粒徑（例如D1）的1.5倍，即D2 2
1.5 X Dio
示例ISO等級編號；占用狀態；考慮的粒徑
ISO等級4；在休息；0.2微米，0.5微米
4.5中間十進制清潔度等級和粒徑閾值
女口果需要中間類別或整數和中間類別的中間粒度閾值，請參閱資料性附錄E。
ISO 14644-l:2015（E）
5合規性證明
5.1原理
通過執行指定的測試程序并提供測試結果和條件的文件來驗證是否符合客戶指定的空氣清潔度（ISO等級）要求。
可以根據應用程序的風險評估定期執行靜態或操作分類，通常每年一次。
對于監控潔凈室、潔凈區和隔離裝置，應使用ISO 1464牛2:2015。
注:如果安裝配備了通過顆粒濃度和其他適用性能參數連續或頻繁監測空氣清潔度的儀器，則可以延長分級之間的時間間隔， 前提是監測結果保持在規定的限度內。
5.2測試
證明符合性的參考測試方法在附錄A （規范性）中給出。可以指定至少具有可比性能的替代方法或儀器（或兩者）。如果沒有 指定或商定替代方法，則應使用參考方法。
為證明符合性而進行的測試應使用在測試時符合校準要求的儀器進行。
根據附件A完成測試后，每個采樣點的單個樣本體積中的顆粒濃I表示為每立方米顆粒數）不得超過表1或表E中給出的濃 度限值。1用于所考慮尺寸的中間十進制等級。如果在一個取樣點采集多個單一樣品體積，則濃度應取平均值，平均濃度不得 超過表1或表E 1中給出的濃度限值。中間粒徑應從公式（F.1） —
用于確定是否符合ISO等級的顆粒濃度應對所有考慮的顆粒尺寸采用相同的方法進行測量。
5.4測試報告
應記錄每個潔凈室或潔凈區的測試結果，并作為一份綜合報告提交，同時附上符合或不符合按顆粒濃度指定的空氣潔凈度等 級的聲明。
測試報告應包括
a） 測試機構的名稱和地址，以及進行測試的日期，
b） ISO 14644這部分的編號和出版年份，即ISO 14644-1:2015，
c） 清楚地標明被測試的潔凈室或潔凈區的物理位置（必要時包括對相鄰區域的參考），以及所有采樣位置坐標的具體指定
（圖表表示可能會有所幫助），
d） 潔凈室或潔凈區的特定指定標準，包括ISO等級編號，
相關的占用狀態，以及考慮的顆粒大小，
e） 所用測試方法的詳細信息，與測試相關的任何特殊條件，或偏離測試方法的情況，以及測試儀器的標識及其當前校準證書，以
及
f）測試結果，包括所有采樣點的粒子濃度數據。
如果按照附件C中的描述量化大顆粒的濃度，則相關信息應包含在測試報告中。
ISO 14644-l:2015(E)
附件A (規
范性)
按顆粒物濃度劃分空氣潔凈度的參考方法
- A.?1原則
離散粒子計數儀用于確定指定采樣點處等于和大于指定尺寸的空氣懸浮粒子的濃度。
- A.?2儀器要求
A.2.1粒子計數儀
該儀器應具有顯示或記錄空氣中離散粒子的數量和大小的方法，并具有大小辨別能力，可以檢測所考慮類別的適當粒 子大小范圍內的總粒子濃度。
注:光散射(離散)氣載粒子計數器(LSAPC)通常用于進行空氣潔凈度分級。
A.2.2儀器校準
粒子計數器應具有有效的校準證書:校準的頻率和方法應基于ISO 21501-4中規定的當前公認的做法。[1]
注:某些粒子計數器無法針對ISO 21501-4中所有要求的測試進行校準。如果是這種情況，請在測試報告中記錄使用計數器的 決定。
- A.?3粒子數測試準備
在測試之前，驗證潔凈室或潔凈區的所有有助于其完整性的相關方面是否完整并按照其性能規范運行。
在確定執行潔凈室性能支持測試的順序時應小心。ISO 14644-3，附錄A提供了一個清單。
A.4取樣點的建立
A.4.1抽樣點數的推導
從表A.1中推導出采樣點的小數量NL。表A.1提供了與要分類的每個潔凈室或潔凈區區域相關的采樣點數量，并 提供了至少95%的置信度，即至少90%的潔凈室或潔凈區區域不超過等級限制。
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表A.1與潔凈室區域相關的取樣位置
| 潔凈室面積（m2） W | 要測試的采樣點的小數量（N L） |
| 2-t- | ； |
| 4個 | 2-t- |
| 6午 | 3-r |
| 8個 | 4個 |
| 10 | ； |
| 24 | 6午 |
| 28 | 7 |
| 32 | 8個 |
| 36 | 9 |
| 52 | 10 |
| 56 | 11 |
| 64 | 12 |
| 68 | 13 |
| 72 | 14 |
| 76 | 15 |
| 104 | 16 |
| 108 | 17 |
| 116 | 18 |
| 148 | 19 |
| 156 | 20 |
| 192 | 21 |
| 232 | 22 |
| 276 | 23 |
| 352 | 24 |
| 436 | 25 |
| 636 | 26 |
| 1000 | 27 |
| >；1000 | 見公式（A.1） |
| 注1 :如果考慮的面積介于表中的兩個值之間，則應選擇兩者中較大的一個。 | |
| 注2：在單向氣流的情況下，該面積可認為是垂直于氣流方向的移動空氣的橫截面。在所有其他情況下，該 | |
| 區域可被視為潔凈室或潔凈區的水平平面區域。 | ； |
A.4.2定位采樣位置
為了定位采樣位置
a） 使用從表A.1中導出的小采樣點數NL ，
b） 然后將整個潔凈室或潔凈區分成N L個面積相等的部分，
c） 在每個部分中選擇一個被認為代表特征的采樣位置
的部分，和
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d）在每個位置，將粒子計數器探頭定位在工作活動平面或其他平面中 指定點。
可以為被認為關鍵的位置選擇額外的采樣位置尼們的數量和位置也應商定和規定。
可以包括額外的部分和相關的采樣位置以促進細分成相等的部分。
對于非單向氣流潔凈室或潔凈區，如果它們位于非擴散送風源的正下方，則位置可能不具有代表性。
A.4.3大型潔凈室或潔凈區的取樣點
當潔凈室或潔凈區面積大于1 000 m2時，應用公式（A.1）確定所需的少取樣點數。
A
=一 27= X ；（A.1）
1000
在哪里
N L是要評估的采樣位置的小數量，四舍五入到下一個整數 數字；
A是潔凈室的面積，m2。
A.4.4確定單次采樣量和每個位置的采樣時間
女口果選定的較大顆粒尺寸的顆粒濃度處于指定ISO等級的等級限值則在每個采樣點采集足以檢測至少20個顆粒的空氣體積。
每個采樣點的單次采樣體積Vs由公式（A.2腌定：
在，廠公一 1000 （A2）
c彎
在哪里
Vs為每個位置的小單次采樣體積，以升表示（見附錄D除外）；
Cn，m是為相關等級指定的犬考慮粒徑的等級限制（每立方米的粒子數）；
20是如果粒子濃度在
等級限制。
每個位置采樣的體積應至少為2升，每個位置每個樣品的短采樣時間為1分鐘。每個取樣點的每個樣品體積應相同。
當Vs特別大時，采樣所需的時間可能會很長。通過使用可選的川貝序采樣程序（見附錄D），所需的樣本量和獲取樣本所需的時間都可以減少。
A.5取樣程序
A51根據制造商的說明設置粒子計數器（見A.2），包括執行零計數檢查。
A.5.2取樣探頭應指向氣流。如果被采樣氣流的方向不受控制或不可預測（例如非單向氣流），則采樣探頭的入口應垂直向 ±o
A.5.3確保在采樣前建立選定占用狀態的正常條件。
A.5.4采樣A.4.4中確定的空氣體積，作為小值，在每個采樣位置對每個樣品進行采樣。
A.5.5如果由于已識別的異常事件而在某個位置發現超出規格的計數，則可以丟棄該計數并在測試報告中注明并采集新樣 品。
A.5.6如果在某個位置發現的不合規格的計數是由于潔凈室或設備的技術故障造成的，則應查明原因，采取補救措施并對故 障采樣位置、緊鄰的周圍位置進行重新測試以及任何其他受影響的地點。選擇應明確記錄并證明其合理性。
A.6結果處理
A.6.1結果記錄
將每個樣本測量的結果記錄為每個單個樣本體積中的粒子數，每個被考慮的粒子尺寸適合相關的ISO空氣潔凈度等級。
注:對于具有濃度計算模式的粒子計數器，可能不需要手動評估。
A.6.1.1每個采樣點的平均粒子濃度
當在一個位置采集兩個或多個單個樣本體積時，根據公式（A.3）計算并記錄來自單個樣本粒子濃度的每個考慮粒子大”’ 的每個位置的平均粒子數。
_ _ 習.” ++習-xin.
Xi _
_ n
在哪里
- 是位置i處的平均粒子數，代表任意位置；
習
xi.l到xi.n是單個樣本中的粒子數；
n 是在位置i采集的樣本數。
A.6.1.2計算每立方米的濃度
7 xiooo
Ci 二
■ 牡
在哪里
? 是每立方米的顆粒濃度；
- 是位置i處的平均粒子數，代表每個位置；
ISO 14644-l:2015（E）
? 是選定的單個樣品體積，單位為升。
A.6.2結果解釋
A.6.2.1分類要求
如果在每個采樣點測量的平均顆粒濃度（表示為每立方米顆粒數）不超過表1確定的濃度限值，則認為潔凈室或潔凈 區已滿足規定的空氣潔凈度等級要求.
如果使用附錄E中定義的中間級別或粒度，則應使用從表E.1或公式（EJ再出的適當限值。
A.6.2.2超標結果
如果計數超出規格，則應進行調查。調查和補救措施的結果應記錄在測試報告中（見5.4）。
附錄B （資 料性）
分類計算示例
- B.?1示例1
B.1.1潔凈室面積為18 m2，按ISO 5級標準運行。分類將使用流量為每分鐘2&；3升的離散粒子計數器進行。 考慮兩種粒徑：D > 0，3 |im和D > 0，5 |imo
根據表A. 1 ，采樣點的數量NL確定為六個。
B.1.2 ISO 5級粒子濃度限值取自表1：
Cn （》0，3 |im） = 10 200個顆粒/立方米
Cn （》0，5 |im） = 3 520個粒子/立方米
B.1.3所需單次樣品量可由式（A.2）計算如下：
= 20
在 1 ；1000 X
C納李
20
Vs=（ ）0，00568 X1000
單個樣品體積經計算為5.68 I。由于用于該測試的LSAPC的流速為每分鐘28.3升，因此需要進行1分鐘的單次采樣計數（參 見A.4.4），因此對于每個單次采樣體積將采樣28.3升.
注:在a.4.4中，程區的小樣品體積是通過計算如上所示的小樣品體積，然后確定粒子計數器在1分鐘的時間段內運行所獲得的 樣品體積來設置的。每個位置的采樣必須至少持續1分鐘；如果在1分鐘內滿足計算的小采樣量，則在1分鐘結束時可以停止采樣過 程。如果使用儀器的流速在1分鐘內無法獲得計算出的小體積，則采樣必須持續更長的時間，直到至少獲得小采樣體積。由于粒 子計數器有多種可能的流速，因此用戶在確定滿足1分鐘要求和計算出的小樣品體積所需的采樣時間時，應注意驗證要使用的特 定儀器的流速。
B.1.4在每個取樣點只取一個樣品體積。如表B.1和B.2所示，計算每個位置和每個粒徑的每立方米顆粒數xi o
ISO 14644-l:2015（E）
表B. 1 > 0.3 nm顆粒的采樣數據
| 采樣位置 | 樣品1XI >；0，3 |jm （每28？3 1計數） | 位置樣本平均值(每28.3升計數) | 位置集中平均值侮 立方米計數二位置平均值X 35，3) | 0.3 um粒徑的ISO 5級限制 | 過關失敗 |
| ； | 245 | 245 | 8 649 | 10 200 | 經過 |
| 2-t- | 185 | 185 | 6 531 | 10 200 | 經過 |
| 3T | 59 | 59 | 2 083 | 10 200 | 經過 |
| 4個 | 106 | 106 | 3 742 | 10 200 | 經過 |
| ； | 164 | 164 | 5 789 | 10 200 | 經過 |
| 6午 | 196 | 196 | 6919 | 10 200 | 經過 |
表B.2 > 0.5 nm顆粒的采樣數據
| 采樣位置 | 樣品1XI >；0，5 nm （每2&；3 1計數） | 位置樣本平均值(每28.3升計數) | 位置集中平均值侮 立方米計數二位置平均值X 35，3) | 0.5 nm粒徑的ISO 5級限制 | 過關失敗 |
| ； | 21 | 21 | 741 | 3 520 | 經過 |
| 2-t- | 24 | 24 | 847 | 3 520 | 經過 |
| 3T | 0 | 0 | 0 | 3 520 | 經過 |
| 4個 | 7 | 1 | 247 | 3 520 | 經過 |
| 5T | 22 | 22 | 777 | 3 520 | 經過 |
| 6午 | 25 | 25 | 883 | 3 520 | 經過 |
B.1.5 D > 0.3 pm的每個濃度值均小于10 200個粒子/m3的限值，D > 0.5 [im的每個濃度值均小于B.1.2中規定的3 520個粒子/m3的限值；因此，潔凈室的顆粒濃度空氣潔凈度符合要求的ISO等級。
- B.?2示例2
B.2.1潔凈室面積為9m2 ，按ISO 3級標準運行。分類將使用流量為每分鐘50.0升的離散粒子計數器進行。 僅考慮一種粒徑(D > 0，1 nm)o
根據表A. 1 ，采樣點的數量NL確定為五個。
B.2.2 ISO等級3》0.1 nm的顆粒濃度限值取自表1：
Cn (> 0，1 |im) = 1 000 個粒子/m3
B.2.3所需單次樣品量可由式(A.2)計算如下：
= 20
1± 1 1000 X
砂 C
納來，
20
VS — 1000 X
Vs = （） 0 0， 2 1 X 000
Vs = 20，0 升
單個樣品體積經計算為20.0 I。由于用于此測試的離散粒子計數器的流速為每分鐘50.0升，因此需要進行1分鐘的單次采樣 計數（見A.4.4），因此每次采樣50.0升單個樣品體積。
B.2.4在每個取樣點只取一個樣品體積。計算每個位置的每立方米顆粒數xi并記錄在表B.3中。
表B.3 >；0.1nm顆粒的采樣數據
| 采樣位置 | 樣品1 Xi a 0，1 |jm (每 50，0 l計數) | 位置樣本平均值（每 50.0升計數） | 位置集中平均值（每立方米計數二位置平 均值X 20） | 0，1 |jm粒徑的ISO 3級限值 | 過關失敗 |
| ； | 46 | 46 | 920 | 1000 | 經過 |
| 2-t- | 47 | 47 | 940 | 1000 | 經過 |
| if | 46 | 46 | 920 | 1000 | 經過 |
| 4個 | 44 | 44 | 880 | 1000 | 經過 |
| St | 9 | 9 | 180 | 1000 | 經過 |
B.2.5 D > 0.1 pm的每個濃度值均小于表1中規定的1000個顆粒/m3的限值；因此，潔凈室的顆粒濃度空氣潔凈度符合要求 的ISO等級。
- B.?3示例3
B.3.1潔凈室占地面積64平方米，按ISO 5級標準運行。分類將使用流量為每分鐘28.3升的離散粒子計數器進行。僅考慮一 種粒徑（D > 0，5 |im）o
根據表A. 1 ，采樣點數量NL確定為12 o
B.3.2 ISO 5級》0.5 nm的顆粒濃度限值取自表1：
Cn （》0，5 |im） = 3 520個粒子/立方米
B.3.3所需單次樣品量可由式（A.2）計算如下:
Vs= () 0，00568 X1000
ISO 14644-l:2015(E)
Vs =5 – 6、8 升
單個樣品體積經計算為5.68 I。由于用于此測試的離散粒子計數器的流速為每分鐘28.3升，因此需要進行1分鐘的單次采樣
計數（見A.4.4），因此每次采樣2&；3升樣本量。
B.3.4在每個取樣點只取一個樣品體積。計算每個位置的每立方米顆粒數xi并記錄在表B.4中。
表B.4 > 0.5 nm顆粒的采樣數據
| 采樣位置 | 樣品1 xi >；0，5 |jm | 位置樣本平均濃度（每28.3升計數） | 位置集中平均值侮立方米計數二位置平均值X 35，3） | 0.5 nm粒徑的IS05級限制 | 過關失敗 |
| ； | 35 | 35 | 1236 | 3 520 | 經過 |
| 2-t- | 22 | 22 | 777 | 3 520 | 經過 |
| 3T | 89 | 89 | 3 142 | 3 520 | 經過 |
| 4個 | 49 | 49 | 1730 | 3 520 | 經過 |
| 5T | 10 | 10 | 353 | 3 520 | 經過 |
| 6午 | 60 | 60 | 2 118 | 3 520 | 經過 |
| 7 | 18 | 18 | 635 | 3 520 | 經過 |
| 8個 | 44 | 44 | 1553 | 3 520 | 經過 |
| 9 | 59 | 59 | 2 083 | 3 520 | 經過 |
| 10 | 51 | 51 | 1800 | 3 520 | 經過 |
| 11 | 6午 | 6午 | 212 | 3 520 | 經過 |
| 12 | 31 | 31 | 1094 | 3 520 | 經過 |
B.3.5 D = 0.5 pm的每個濃度值均小于表1中規定的3 520個顆粒/m3的限值；因此，潔凈室的顆粒濃度空氣潔凈度符合要求 的ISO等級。
B.4示例4
B.4.1潔凈室面積為25m2，按ISO 5級標準運行。分類將使用流量為每分鐘28.3升的離散粒子計數器進行。
僅考慮一種粒徑（D > 0，5 nm）o
表A. 1中采樣點的小數量為7O
B.4.2 ISO等級5》0.5 nm的顆粒濃度限值從表1中獲得如下：
Cn （》0，5 |im） = 3 520個粒子/立方米
B.4.3所需單次樣品體積可由式（A.2）計算如下：
20
VS =
Vs = ( )0，00568 X1000
Vs =5 – 6、8升
單個樣品體積經計算為5.68 I。由于用于此測試的離散粒子計數器的流速為每分鐘28.3升，因此需要進行1分鐘的單次采樣 計數(見A.4.4)，因此每次采樣28.3升單個樣品體積。
B.4.4表A.1要求的取樣點數為7個，但本例表明供需雙方同意增加3個，共計10個。在每個采樣位置，單個樣本體積的數量從1 到3不等。
B.4.5出于記錄目的，每立方米的顆粒數(濃度)xi是根據每個位置(2&；3 X 35.3)的每單位體積(28.3 I)的平均計數計算得 出的，如表B.5.
表B.5 》0.5 nm顆粒的采樣數據
| 采樣位置 | 樣品1 xi $0，5 |jm（每28.3升計 數） | 樣品2 xi $0，5 nm （每28？3 1計數） | 樣品3xi^0，5 nm （每28？3 1計數） | 位置樣本平 均值侮 28.3升計 數) | 位置集中平均值(每立方米計數二位置平均值X 35？3) | 2 ；0，5 |jm 粒 徑的ISO5級限值 | 過關失敗 |
| ； | 47 | 57 | ； | 52 | 1836 | 3 520 | 經過 |
| 2-t- | 12 | ； | ； | 12 | 424 | 3 520 | 經過 |
| 3T | 162 | 78 | 32 | 91 | 3 201 | 3 520 | 經過 |
| 4個 | 148 | 74 | 132 | 118 | 4165 | 3 520 | 失敗 |
| 5T | ； | 0 | ； | 0，5 | 18 | 3 520 | 經過 |
| 6午 | 19 | 22 | 17 | 19 | 682 | 3 520 | 經過 |
| 7 | ； | 15 | 3T | 8個 | 271 | 3 520 | 經過 |
| 8個 | 38 | 21 | ； | 30 | 1041 | 3 520 | 經過 |
| 9 | 54 | 159 | 78 | 97 | 3 424 | 3 520 | 經過 |
| 10 | 48歲 | 62 | 53 | 54 | 1918 | 3 520 | 經過 |
B.4.6在采樣位置4，平均采樣體積濃度4 165不符合ISO 5級較大粒子數標準3 520。在位置3和位置9，其中一個粒子計數
濃度不符合規定的限值在表1中；但是，位置3的平均粒子濃度和位置9的平均粒子濃度確實滿足表1中規定的限值。由于位 置4不符合粒子濃度的空氣潔凈度，因此潔凈室不符合要求的ISO等級。
B.5示例5
B.5.1潔凈室的建筑面積為10.7 m2，并指定為ISO 7.5級運行。分類將使用流速為每分鐘28.3升的離散粒子計數器進行。僅 考慮一種粒徑(D 2 ；0，5 nm)o
根據表A.1確定采樣點數為6個。
ISO 14644-l:2015（E）
B.5.2 ISO等級7.5 > 0.5 [im的顆粒濃度限值從表E.l中獲得。
2 08
N 01 ；‘；
玄采扣 ）10 = 在哪里否二丐和 丁二0戶毫米
D
oi ；2 08
和沙微米）=516，-—
J” ‘ 05
CN（玄 0 5， X 31）^22777 0 03516757 微米=
Cn（$05，微米）二 1112096保留三位有效數字 1110000 particles/m3 –；
B.5.3所需單次取樣量可由式（A.2）計算如下：
二 20
1 ；1000 X
C 納炭
20 _
VS= ；‘ 1000 0^17 99 升
1112000
單個樣品體積經計算為0，01799 I。由于用于此測試的離散粒子計數器的流速為每分鐘28.3升，因此需要進行1分鐘的單次 采樣計數（見A.4.4），因此每次采樣2&；3升單個樣品體積。
B.5.4在每個采樣點，單個采樣體積的數量從1到3不等。計算每個位置的每立方米顆粒數xi并記錄在表B.6中。
表B.6 > 0.5 nm顆粒的采樣數據
| 采樣位置 | 樣本1xi > 0，5 pirn （每28，3 1計數） | 樣本2xi > 0，5 pirn （每28，3 1計數） | 樣品3xi > 0，5 pirn （每28，3 1計數） | 地點樣本平均值（每28.3升計數） | 位置集中平均值（每 立方米計數二位 置平均值X 35，3） | ISO等級0.5 [xm粒徑的7.5限值 | 過關失 敗 |
| ； | 11679 | ； | ； | 11679 | 412 269 | 1110 000 通行 i | 正 |
| 2平 | 9 045 | ； | ； | 9 045 | 319 289 | 1110 000 通行 i | 正 |
| 3T | 12 699 | ； | ； | 12 699 | 448 275 | 1110 000 通行 i | 正 |
| 4個 | 26 232 | 27 555 | 34 632 | 29 473 | 1 040 397 | 1110 000 通行 i | 正 |
| 5T | 7 839 | ； | ； | 7 839 | 276 717 | 1110 000 通行 i | 正 |
| 6午 | 13 669 | ； | ； | 13 669 | 482 516 | 1110 000 通行 i | 正 |
B.5.5在采樣位置4，第三個樣本體積濃度1 222 507 （34 632 X 35，3）不符合ISO Class 7，5較大粒子計數標準1 110 000。 每個單一樣本體積的濃度不符合使用表E.1確定的限制；但是，每個采樣點的平均粒子濃度確實滿足表E.1的應用所確定的限 值。
因此，潔凈室的顆粒濃度空氣潔凈度符合要求的ISO等級。
B.6 例 6
B.6.1潔凈室的建筑面積為2 100 m2，并指定為ISO 7級運行。分類將使用流量為每分鐘28.3升的離散粒子計數器進行。僅 考慮一種粒徑(D > 0，5 |im)o
表A. 1給出的采樣點數量NL限于1000 m2面積的潔凈室
對于2 100 m2的潔凈室，采樣點數NL由公式(A.1)推導出：
27
”■?、 ；= 56 7四舍五入為57
1000
B.6.2IS0等級7》0.5口m的顆粒濃度限值取自表1：
Cn (N 0，5 nm) = 352 000 顆粒/立方米
B.6.3所需的單次樣品體積可由式(A.2)計算如下：
= 20
1± 1 1000 X
妙 C
納來，
20
V S — ‘ 1000 X
352000
Vs = () 0，0000568 1 X 000
Vs = 0，0568 升
單個樣品體積經計算為0，0568 I。由于用于此測試的離散粒子計數器的流速為每分鐘28.3升，因此需要進行1分鐘的單次采 樣計數(見A.4.4)，因此每次采樣28.3升單個樣品體積。
B.6.4在每個取樣點只取一個樣品體積。計算每個位置的每立方米顆粒數xi并記錄在表B.7中。
ISO 14644-l:2015(E)
表B.7 2?0.5 kim顆粒的采樣數據
| 采樣位置 | 樣本1xi > 0，5 nm (每28，3 1計數) | 位置樣本平均值（每28.3升計數） | 位置集中平均的（每立方米計數二位置平均值x 35，3） | 0.5 um粒徑的ISO 7級 限制 | 過關失敗 |
| ； | 5 678 | 5 678 | 200 434 | 352 000 | 經過 |
| 2-t- | 7 654 | 7 654 | 270 187 | 352 000 | 經過 |
| 3-r | 2 398 | 2 398 | 84 650 | 352 000 | 經過 |
| 4個 | 4 578 | 4 578 | 161604 | 352 000 | 經過 |
| ； | 8 765 | 8 765 | 309 405 | 352 000 | 經過 |
| 6午 | 4 877 | 4877 | 172 159 | 352 000 | 經過 |
| 7 | 8 723 | 8 723 | 307 922 | 352 000 | 經過 |
| 8個 | 7 632 | 7 632 | 269 410 | 352 000 | 經過 |
| 9 | 7 643 | 7 643 | 269 798 | 352 000 | 經過 |
| 10 | 6 756 | 6 756 | 238 487 | 352 000 | 經過 |
| 11 | 5 678 | 5 678 | 200 434 | 352 000 | 經過 |
| 12 | 5 476 | 5 476 | 193 303 | 352 000 | 經過 |
| 13 | 8 576 | 8 576 | 302 733 | 352 000 | 經過 |
| 14 | 7 765 | 7 765 | 274 105 | 352 000 | 經過 |
| 15 | 3 456 | 3 456 | 121997 | 352 000 | 經過 |
| 16 | 5 888 | 5 888 | 207 847 | 352 000 | 經過 |
| 17 | 3 459 | 3 459 | 122 103 | 352 000 | 經過 |
| 18 | 7 666 | 7 666 | 270 610 | 352 000 | 經過 |
| 19 | 8 567 | 8 567 | 302 416 | 352 000 | 經過 |
| 20 | 8 345 | 8 345 | 294 579 | 352 000 | 經過 |
| 21 | 7 998 | 7 998 | 282 330 | 352 000 | 經過 |
| 22 | 7 665 | 7 665 | 270 575 | 352 000 | 經過 |
| 23 | 7 789 | 7 789 | 274 952 | 352 000 | 經過 |
| 24 | 8 446 | 8 446 | 298 144 | 352 000 | 經過 |
| 25 | 8 335 | 8 335 | 294 226 | 352 000 | 經過 |
| 26 | 7 988 | 7 988 | 281 977 | 352 000 | 經過 |
| 27 | 7 823 | 7 823 | 276152 | 352 000 | 經過 |
| 28 | 7911 | 7911 | 279 259 | 352 000 | 經過 |
| 29 | 7 683 | 7 683 | 271210 | 352 000 | 經過 |
| 30 | 7 935 | 7 935 | 280 106 | 352 000 | 經過 |
| 31 | 6 534 | 6 534 | 230 651 | 352 000 | 經過 |
| 32 | 4 667 | 4 667 | 164 746 | 352 000 | 經過 |
| 33 | 6 565 | 6 565 | 231745 | 352 000 | 經過 |
| 34 | 8 771 | 8 771 | 309 617 | 352 000 | 經過 |
| 35 | 5 076 | 5 076 | 179 183 | 352 000 | 經過 |
| 36 | 6 678 | 6 678 | 235 734 | 352 000 | 經過 |
| 37 | 7 100 | 7 100 | 250 630 | 352 000 | 經過 |
| 38 | 8 603 | 8 603 | 303 686 | 352 000 | 經過 |
表B.7 （續）
| 采樣位置 | 樣本1xi > 0，5 nm （每28？3 1計數） | 位置樣本平均值（每28.3升計數） | 位置集中平均的（每立方米計數二位置平均值X 35，3） | 0.5um粒徑的ISO 7級 限制 | 過關失敗 |
| 39 | 7 609 | 7 609 | 268 598 | 352 000 | 經過 |
| 40 | 7 956 | 7 956 | 280 847 | 352 000 | 經過 |
| 41 | 7 477 | 7 477 | 263 939 | 352 000 | 經過 |
| 42 | 7 145 | 7 145 | 252 219 | 352 000 | 經過 |
| 43 | 6 998 | 6 998 | 247 030 | 352 000 | 經過 |
| 44 | 7 653 | 7 653 | 270 151 | 352 000 | 經過 |
| 45 | 6 538 | 6 538 | 230 792 | 352 000 | 經過 |
| 46 | 3 679 | 3 679 | 129 869 | 352 000 | 經過 |
| 47 | 4 887 | 4 887 | 172 512 | 352 000 | 經過 |
| 48歲 | 7 648 | 7 648 | 269 975 | 352 000 | 經過 |
| 49 | 8 748 | 8 748 | 308 805 | 352 000 | 經過 |
| 50 | 7 689 | 7 689 | 271 422 | 352 000 | 經過 |
| 51 | 7 345 | 7 345 | 259 279 | 352 000 | 經過 |
| 52 | 7 888 | 7 888 | 278 447 | 352 000 | 經過 |
| 53 | 7 765 | 7 765 | 274 105 | 352 000 | 經過 |
| 54 | 6 997 | 6 997 | 246 995 | 352 000 | 經過 |
| 55 | 6 913 | 6 913 | 244 029 | 352 000 | 經過 |
| 56 | 7 474 | 7 474 | 263 833 | 352 000 | 經過 |
| 57 | 8 776 | 8 776 | 309 793 | 352 000 | 經過 |
B.6.5 D > 0.5 um的每個濃度值均小于表1中規定的352 000個顆粒/m3的限值；因此，潔凈室的顆粒濃度空氣潔凈度符 合要求的ISO等級n—
ISO 14644-l:2015（E）
附錄c （資
料性）
空氣中大顆粒的計數和分級
c.i原則
在某些情況下，通常是那些與特定過程要求相關的情況，可以根據不在適用于分類的尺寸范圍內的粒子群來指定替代的空氣 潔凈度級別。此類顆粒的較大允許濃度和驗證合規性的測試方法的選擇是客戶和供應商之間的協議事項。
C.2中給出了測試方法和規范規定格式的注意事項。
C.2考慮大于5|im的粒子（大粒子）M描述符
C.2.1申請
如果要評估大于5 nm的顆粒造成的污染風險，則應采用適合此類顆粒具體特性的采樣設備和測量程序。
可以在三種定義的占用狀態中的任何一種下測量尺寸分布閾值介于5 nm和20 nm之間的空氣懸浮粒子濃度:竣工、靜止和 運行狀態。
由于過程環境中的粒子釋放通常在空氣中粒子群的大粒子部分中占主導地位，因此應根據特定應用確定合適的采樣設備和測 量程序。需要考慮顆粒的密度、形狀、體積和空氣動力學行為等因素。此外，可能有必要特別強調總空氣傳播人口的特定組成部 分，例如纖維。
C.2.2 M描述符格式
M描述符可以指定為粒子濃度空氣潔凈度等級的補充。
M描述符的表達格式
“；ISOM （a； ；b） ； ；C”；
在哪里
a是大顆粒的較大允許濃度（表示為每個大顆粒
立方米空氣）；
b是與特定大顆粒測量方法相關的當量直徑（或直徑）（以微米表示）；
c是指定的測量方法。
示例1要表示基于使用LSAPC的粒徑范圍^5 pm的空氣濃度為29個顆粒/立方米，名稱應為：“ISO M （29 ^5 pm）；?LSAPC” o
示例2根據使用飛行時間氣溶膠粒子計數器確定粒子的空氣動力學直徑，要表示粒徑范圍＞ ；10 pm的空氣懸浮粒子濃度為2 500個 粒子/立方米，名稱應為：“ISO M （2 500；》10 pm）；飛行時間氣溶膠粒子計數器”。
示例3為了表達10至20 pim粒徑范圍內1000個顆粒/m3的空氣懸浮顆粒濃度，基于使用級聯沖擊器，然后進行顯微尺寸測定和計數， 命名為：“ISOM （1000；10至20微米）；級聯撞擊器，然后進行顯微尺寸測量和計數”。
注1如果被釆樣的空氣懸浮粒子群包含纖維，則可以通過用單獨的纖維描述符補充M描述符來說明它們，其格式為“Mfibre （a b） C” o
注2 IEST-G-CC1003中給出了適用于大于5 pm空氣懸浮粒子濃度的測試方法。[2]
- C.?3大粒子的空氣傳播粒子數
C.3.1原理
該測試方法描述了對直徑大于5|im的空氣懸浮顆粒（大顆粒）的測量。C.3中給出的程序改編自IEST-GCC1003:1999o [2冋以在潔凈室或潔凈 區安裝中以三種J旨定占用狀態中的任何一種進行測量:竣工、靜止或運行。進行測量以確定大顆粒的濃度，并且可以應用5.1、5.2和5.4中的原則。強調 需要適當的樣品采集和處理，以較大限度地減少樣品處理操作中大顆粒的損失。
C.3.2總則
取樣點的數量、位置的選擇和所需數據的數量應符合A.4的規定。客戶和供應商應就大顆粒的較大允許濃度、顆粒的當量直徑和規定的測量方法達成一 致。通過客戶和供應商之間的協議何以使用具有等效精度并提供等效數據的其他適當方法。如果沒有商定其他方法，或者在有爭議的情況下，應使用 附錄C中的參考方法。
C.3.3樣品處理注意事項
使用大顆粒時需要仔細收集和處理樣品。IEST-G-CC1003:1999中提供了對系統要求的完整討論，這些系統可用于等速或非等速采樣以及粒子傳
輸到測量點。[2]
C.3.4大粒子測量方法
大粒子測量方法有兩大類。如果使用不同的測量方法，可能不會產生可上岀交的結果。由于這個原因，不同方法之間的關聯可能是不可能的。各種方法產生 的粒徑信息
方法在C.3.4.1和C.3.4.2中進行了總纟 ；
C.3.4.1原位測量
使用飛行時間粒子計數器或LSAPC原位測量大粒子的濃度和大小：
a） LSAPC測量（C.4丄2）將使用基于等效為學真徑的粒徑報告大粒子；
b） 飛行時間粒度測量（C.4丄3）將使用粒度報告大粒子
基于空氣動力學直徑。
ISO 14644-l:2015（E）
C.3.4.2 集合
通過過濾或慣性效應收集，然后用顯微鏡測量收集到的顆粒的數量和大小：
a） 過濾器收集和顯微測量（C.4.2.2）將使用粒子扌艮告大粒子
尺寸基于商定的直徑；
b） 級聯撞擊器收集和顯微測量（C.423）將報告大顆粒
使用基于報告粒徑的選擇的粒徑。
- C.?4大粒子測量方法
C.4.1無粒子收集的大粒子測量
C.4.1.1 總’；則
無需從空氣中收集顆粒即可測量大顆粒。該過程涉及對懸浮在空氣中的顆粒進行光學測量。空氣樣本以特定流速通過LSAPC，報告顆粒的等效 光學直徑或空氣動力學直徑。
C.4丄2光散射粒子計數器（LSAPC）測量
使用LSAPC進行大粒子測量的程序與附件A中用于空氣傳播粒子計數的程序相同，只有一個例外。例外情況是，在這種晴況下丄SAPC不需要檢 測小于1 kim的顆粒的靈敏度，因為數據只需要大顆粒計數。需要注意確保LSAPC直接從采樣位置的空氣中采樣。LSAPC的采樣流量至少應 為28.3 l/min，并應配備尺寸適合單向流區等速采樣的入口探頭。在存在非單向流的區域丄SAPC的樣品入口應垂直向上。
應選擇采樣探頭以允許在單向流區域進行接近等速采樣。如果不可能，將采樣探頭入口設置為朝向氣流的主要方向；在采樣氣流不受控制或不可 預測的位置（例如非單向氣流），采樣探頭的入口應垂直向上。從采樣探頭入口到LSAPC傳感器的傳輸管應盡可能短。對于大于和等于1 kim的 顆粒采樣，傳輸管長度不應超過制造商推薦的長度和直徑，通常長度不超過1 mo
應盡量減少由于采樣系統中大顆粒損失引起的采樣誤差。
建立了 LSAPC大小范圍設置，以便僅檢測到大粒子。應記錄小于5 pm的一個尺寸的數據，以確保檢狽倒的低于大顆粒尺寸的顆粒的濃度不會 高到足以導致LSAPC測量中的重合誤差。當添加到大顆粒濃度時，該較低尺寸范圍內的顆粒濃度不應超過為所用LSAPC指定的較大推薦顆粒 濃度的50%o
C.4.1.3飛行時間粒度測量
大顆粒尺寸可以用飛行時間儀器測量。空氣樣本被吸入設備中，并通過噴嘴膨脹加速到測量區域所在的咅盼真空中。該空氣樣本中的任何粒子都 會加速以匹配測量區域中的空氣速度。粒子的加速度將與粒子的質量成反比。
測量點的空氣速度和粒子速度之間的關系可用于確定粒子的空氣動力學直徑。了解環境空氣與測量區域壓力之間的壓力差后，可以直接計算出空 氣速度。粒子速度通過兩個激光束之間的飛行時間來測量。的時間
飛行設備應測量高達20 |jm的顆粒的空氣動力學直徑。樣品采集程序與使用LSAPC測量大顆粒時所需的程序相同。此外，該設備使用與LSAPC 相同的程序來確定要報告的粒徑范圍。
C.4.2大粒子測量與粒子收集
C.4.2.1 總則
可以通過從空氣中收集顆粒來測量大顆粒。空氣樣本以特定的流速通過收集設備傳輸。顯微鏡分析用于對收集到的顆粒進行計數。
注:也可以確定收集到的顆粒的質量，但由于空氣潔凈度是由數量濃度決定的，因此ISO 14644的這一部分沒有涉及。
C.4.2.2過濾收集和顯微測量
選擇膜過濾器和支架或預組裝的氣溶膠監測器；應使用孔徑為2 ym或更小的膜。標記過濾器支架以識別過濾器支架的位置和安裝。將出口連接到 真空源，真空源將以所需的流速抽取空氣。如果要測定大顆粒濃度的采樣位置是單向流動區域，則應確定流速以允許等速采樣進入過濾器支架或氣 溶膠監測器入口，并且入口應朝向單向流。
使用公式（C.1）確定所需的樣品體積。
從膜過濾器支架或氣溶膠監測器上取下蓋子，并存放在干凈的地方。
在客戶和供應商協議確定的采樣點對空氣進行采樣。如果使用便攜式真空泵通過膜過濾器抽取空氣，則該泵的廢氣應排放到潔凈裝置外或通過合適 的過濾器排放。樣品收集完成后，更換過濾器支架或氣溶膠監測器上的蓋子。樣品架的運輸方式應使濾膜始終保持水平位置，并且在采集樣品和分 析樣品之間不會受到振動或沖擊。計算過濾器表面的顆粒數（參見A STM F312-08）。⑶
C.4.2.3級聯撞擊器采集與測量
在級聯沖擊器中，顆粒分離是通過顆粒的慣性沖擊進行的。采樣氣流通過一系列孔口尺寸遞減的射流。較大的顆粒直接沉積在較大的孔下方，較小 的顆粒沉積在沖擊器的每個連續階段。空氣動力學直徑與沖擊器流動路徑中的區域顆粒收集直接相關。
為了通過顆粒濃度測量空氣清潔度，可以使用一種用于收集和計數大顆粒的級聯沖擊器。在這一個中，顆粒沉積在可移動板的表面上，這些板被移除 以進行隨后的顯微鏡檢查。此類級聯沖擊器通常使用0.47升/秒或更高的采樣流速。
- C.?5大粒子計數程序
確定“ISO M （a b）” c”選定粒度范圍內的描述符濃度，由客戶和供應商商定，并報告數據。
在每個采樣點採樣一定體積的空氣，足以在確定的濃度限值下檢測到至少20個選定粒徑的顆粒。
ISO 14644-l:2015(E)
每個采樣點的單次采樣體積Vs由公式（C.1）確定：
20 比=—— 1000
納米
C ?
在哪里
比 是每個位置的小單個樣品體積，以升表示（見D.4.2除外）；
Cn.m是為相關等級指定的較大考慮粒徑的等級限制（每立方米的粒子數）；
20是如果粒子濃度在
等級限制。
如果需要有關大顆粒濃度穩定性的信息，請按客戶和供應商商定的時間間隔在選定位置進行三次或更多次測量。
設置所選儀器的進樣探頭并進行測試。
C.6大粒子采樣試驗報告
應記錄下列試驗信息和數據：
a） 儀器響應的顆粒大小的定義；
b） 測量方法；
c） 作為ISO等級的附件的M描述符級別或限制的測量方法；
d） 使用的每臺測量儀器和設備的型號名稱及其校準狀態；
e） 安裝的￡0等級；
f） 大顆粒尺寸范圍和報告的每個尺寸范圍的計數；
g） 儀器入口樣品流量和通過傳感體積的流量；
h） 采樣點；
i） 用于分類的抽樣計劃或用于測試的抽樣協議計劃；
j） 占用狀態；
k） 大粒子濃度穩定性等其他測量相關數據。
C.7調整大粒子描述符以考慮ISO 5級潔凈室的N 5 粒子尺寸
為了表示基于使用LSAPC的粒徑范圍＞5nm的空氣中29個顆粒/立方米的濃度，名稱將是“ISO M （29 2 5 um）；?LSAPC”；，對于20個粒子/立方米，名稱將是“ISOM（20；》5um）；?LSAPC”（見表1，注釋f）。
附錄D （資料性）
順序采樣程序
- D. ；1背景和限制
D.1.1背景
在某些情況下，有必要或要求對顆粒濃度特別低的清潔受控環境進行分類，順序采樣是一種有用的技術，可以減少樣品體積 和采樣時間。順序抽樣技術測量計數率并預測通過或不滿足ISO等級要求的可能性。如果被采樣的空氣比所考慮的顆粒尺寸 的指定等級濃度限制明顯更多或更少污染，則使用順序采樣程序可以減少采樣量和采樣時間，通常會顯著減少。
當濃度接近指定限度時，也可能實現一些節省。順序采樣適合ISO 4級或更清潔的空氣清潔度。當所選粒徑的限制較低時， 它也可用于其他類別。在這不申I胄況下，所需的樣本量可能對于檢測20個預期計數來說太高了。
注有關順序采樣的更多信息，請參閱IEST-G-CC1004[4]或JIS B 9920:2002。⑸
D.1.2限制
順序抽樣的主要限制是
a） 該程序僅適用于較大樣本的單個樣本的預期計數＜ 20的情況
粒度（見A.4.4） ，
b） 每個樣品測量都需要補充監測和數據分析，這可以是
通過計算機化自動化促進，和
c） 顆粒濃度的確定不如傳統采樣程序那樣
由于樣本量減少。
- D.?2程序的基礎
該程序基于實時累積粒子計數與參考計數值的比較。參考值來自上限和下限邊界的公式：
上限：Cfail = 3，96 +1，03 E （D.1）
下限：Cpass=-3，96 +1，03 E （D.2）
在哪里
Cfail是觀察計數的上限；
Cpass是觀察計數的下限；
E是期望計數（由公式（D.5）表示，類別限制）。
ISO 1464牛 l:2015(E)
根據公式（A.2），單次樣品體積Vs計算如下:
20
在廠—— I。。。 （D.3）
c彎
在哪里
比 是每個位置的＜1 ‘；單個樣品體積，以升表示；
Cn，m是為相關等級指定的考慮粒徑的等級限制（每立方米的粒子數）；
20是定義的粒子數，如果粒子濃度為 等級限制。
總采樣時間tt計算如下：
t =電壓
J —
問
在哪里
Vs為累計取樣體積（升）；
Q為粒子計數器的采樣流量（升/秒）。
預期計數定義如下：
和=Qfg
1000
在哪里
噸是采樣時間（以秒為單位）。
為幫助理解，圖D.1提供了順序采樣程序的圖形說明。當在每個指定的采樣點對空氣進行采樣時，運行的總粒子數將不斷與已采樣的規定總體積 比例的預期it數進行比較。如果運行總計數小于預期計數對應的下限Cpass，則發現被采樣的空氣符合規定的等級或濃度限制，并停止采樣。
如果運行計數超過預期計數對應的上限Cfail，則被采樣的空氣不符合規定的等級或濃度限值，采樣停止。只要運行計數保持在上限和下限之間， 采樣就會繼續，直到觀察到的計數變為20或累積樣本體積V等于＜1、單次樣本體積Vs，此時預期計數變為20o
在圖FH中，繪制了觀察到的計數C與預期計數E的關系圖，直到采樣停止或計數達到20o
- D.?3抽樣程序
圖8璇明工公式（D.1）和（D.2）中建立的邊界，被E = 20的限制截斷，代表收集完整樣本所需的時間，C二20，觀察到的較大值允許計數。
1 2
Key
x預期計數，Ey觀察計
數，Cl停止計數，FAIL (C
> 3，96 + 1}O3E) 2連續計數3停止計數，PASS (C
W -3，96 + l，03E)
圖D.l連續抽樣程序通過或失敗的界限
觀察到的計數與空氣中顆粒濃度恰好在指定級別的預期計數相對應。時間的流逝對應于預期計數的增加，E二20表示如果粒子累積完整樣本體 積所需的時間
濃度均在班級限值。
使用圖D.1進行順序采樣的程序如下：
1） 記錄計數的粒子總數隨時間的變化；
2） 按照D.2中公式（D.5）所述的程序計算預期計數 一
3） 繪制總計數與預期計數的關系圖，如圖D.1所示；
4） 將計數與圖D.1的上下限線進行比較；
5） 如果累計觀察計數越過上線，則停止該位置的采樣，并
據報告空氣不符合規定的等級限制；
6） 如果累計觀測計數越過下線，則停止采樣，空氣符合規定的等級限值；
7） 如果累計觀察計數保持在上下線之間，則繼續采樣。
如果在規定的采樣周期結束時總計數為20或更少且未超過上線，則空氣被判斷為符合等級限制。
D.4順序抽樣的例子
D.4.1示例1
a）通過順序采樣程序評估潔凈室的目標空氣潔凈度為ISO 3級（0.1 kimJOOO個顆粒/立方米）。此過程著眼于計數率并試圖預測可能的通過 或失敗。
ISO 14644-l:2015(E)
注:粒子計數器的采樣流量為0.0283 m3/min (28.3 l/min或0.471/s)。
b)測量前的準備極限值的計算方法。
了計算結果。首先，預期計數是根據采樣時間計算的。接下來，使用公式(D.1)和(D.2)或圖D.1計算上參考計數 和下參考計數。
表D.1上下參考計數的計算表
| 測量時期 | 采樣時間(s) | 總采樣風量 | 預期計數觀察計數的上限 | ； | 觀察到的下限數數 |
| 噸 | 升 | 根據公式(D.5) | C失敗二3.96 + 1.03 電子 | Cpass =-3.96+ 1.03 ENA | |
| 第— | ； | 2，4 | 2，4 | 7 (6，4) | (-1.5) 0(0.9) |
| 第二名 | 10 | 4，7 | 4，7 | 9 ；(8，8) | 3 (3.3) |
| 第三名 | 15 | 7，1 | 7，1 | 12(11，2) | 5 (5.8) 8 |
| 第四名 | 20 | 9，4 | 9，4 | 14 (13，7) | (8.2) 10 |
| 5S | 25 | 11，8 | 11，8 | 17(16，1) | (10.6) |
| 6S | 30 | 14，2 | 14，1 | 19 (18，5) | 13 (13.0) |
| 7S | 35 | 16，5 | 16，5 | 20 (21，0) | ； |
| 8號 | 40 | 1&；9 | 1&；9 | 20 (23，4) | 15 (15，5) |
| 9號 | 45 | 21，2 | 21，2 | 21 | 20 |
| 注:括號內的數值為觀測計數上下限計算結果，到小數點后一位。但是，由于實際數據是整數值，因此在評估時將每個計算值作為所示的整 數值進行處理。觀察計數的上限四舍五入到計算值的第—個小數位。觀察計數的下限向下舍入到計算值的第—個小數位。當按公式(D.2)計算的Cpass為負值時，記為NA (不適用)。在這種情況下，即使觀察到的計數為零，我哋不能斷定空氣清潔度滿足目標ISO等級。 |
- 使用順序抽樣程序進行評估。
第—次測量中提供的預期計數是2，4；當觀測計數大于或等于7時判定為“FAIL”。但是，當本次采樣期間的觀測計數在 0~6之間時，無法判定結果。在這種情況下，繼續采樣。當繼續采樣時，累積觀察計數可能會增加。繼續采樣，直到達到規定的 單個樣本體積或觀察到的計數分別越過Cpass或Cfail的線之一。如果在規定的采樣周期結束時累計觀察計數為20或更 少且未超過上線，則空氣潔凈度等級被判定為“通過”。如果在達到完整采樣周期之前，累計觀察計數小于或等于Cpass 的向下舍入值，則停止采樣并判斷分類為“PASS”。
D.4.2示例2
通過順序采樣程序評估潔凈室的目標空氣潔凈度為ISO 3級(0.5 nm ，35個顆粒/立方米)。粒子計數器(Q)的采樣流量為 0，0283 m3/min = 0，47 l/s。
按式（D.3）計算單次樣品體積VS。
20 20
也二 ；100（X 二xl ；1000 571429 升
納米 35
C ‘；
根據公式（D.4）計算總采樣時間tt。這是評估采樣位置所需的長時間。順序采樣程序應縮短此時間。
在夕
備==—5 1211，2 米P 19 英寸
問
計算結果表：
D根據公式（D.5）計算期望計數E；
Q ft n m >；
和二
1000
2） 根據公式（D.l）ffl（D.2）計算觀察計數的上下限；
3） 計算結果見表D.2和圖D.2。
表D.2總樣氣量、預期計數、上限和下限的計算結果
| 噸（分鐘） | 噸（小） | 總采樣風量，QXt | 預期計數，和 | 限制 | |
| 卜部，失敗5 （5.0） | 較?（吊丁 CMA | ||||
| ； | 60 | 2&；3 | 1，0 | ； | (-2.9) |
| 2-t- | 120 | 56，6 | 2，0 | 7 (6，0) | 不適用（-1.9） |
| 3-r | 180 | 84，9 | 3，0 | 8億0) | 不適用（-0.9） |
| 4個 | 240 | 113，2 | 4，0 | 9 (8.0) | 0(0.1) |
| st | 300 | 141，5 | 5，0 | 10(9.1) | i(i.n |
| 6午 | 360 | 169，8 | 5，9 | 11 (10，1) | 2 22) 3 |
| 7 | 420 | 198，1 | 6，9 | 12 (11.1) | 區2) 4 |
| 齡 | 480 | 226，4 | 7，9 | 13 (12，1) | (4，2) |
| 9 | 540 | 254，7 | 8，9 | 14(13，1) | 5 (5，2) 6 |
| 10 | 600 | 283，0 | 9，9 | 15 (14.2) | 62) 7 |
| 11 | 660 | 311，3 | 10，9 | 16 (15.2) | (7.3) 8 |
| 12 | 720 | 339，6 | 11，9 | 17 (16，2) | (8.3) |
| 13 | 780 | 367，9 | 12，9 | 18 (17，2) | 9 (9，3) |
| 14 | 840 | 396，2 | 13，9 | 19 (18.2) | 10 (103 |
| 15 | 900 | 424，5 | 14，9 | 20 (19.3) | U (11.3) |
| 16 | 960 | 452，8 | 15，8 | 20 (20，3) | 12 (12 ⑷ |
| 17 | 1 020 | 481，1 | 16，8 | 20 (21.引 | 13 (13.4) |
| 18 | 1080 | 509，4 | 17，8 | 20 (22.3) | 14 (14.4) |
| 19 | 1 140 | 537，7 | 1&；8 | 20 (23.3) | 15 (15.4) |
| 20 | 1200 | 566，0 | 19，8 | 20 (24.4) | 16 (16.4) |
| 20.19 = TT | 1211，5 | 571，429 = VS | 20 | 21 | 20 |
在圖』2孔繪制了觀測計數的上限和下限與計數采集時間的關系圖。每個垂直條以1分鐘的間隔顯示限制（上限和下限）。
ISO 14644-l:2015(E)
鑰匙
X 計數時訶（分鐘）計數限
ffl 值（粒子）觀察計數上限觀察計
數下限
圖D.2順序采樣通過或失敗邊界的圖形表示 比較累積觀察計數和上下限并應用程序 在D.3中描述。一
a）失敗情況，見表D.3。
表D.3連續采樣粒子計數示例
| t （分鐘）t | （秒） | 預期計數，E | 累計觀察計數的限制 | 觀察到的 數數在間隔期間 | 累積觀察計數，c | 結果 | |
| 上限，Cf日il下限，C | >；ass | ||||||
| IT | 60 | 1，0 | ； | 那 | 2-t- | 2-t- | 繼續 |
| 2-t- | 120 | 2，0 | 7 | 那 | 3-r | ； | 繼續 |
| 3-r | 180 | 3，0 | 8個 | 那 | IT | 6午 | 繼續 |
| 4個 | 240 | 4，0 | 9 | 0 | 0 | 6午 | 繼續 |
| ； | 300 | 5，0 | 10 | 1T | 5-t- | 11 | 失敗 |
第—次測量中提供的預期計數為1，0；累計觀察次數大于等于5時判斷為“FAIL”。但累計觀察次數在0~5之間時，則不能 判斷。在本示例中必須繼續采樣擋繼續采樣時，累積觀察計數會增加。不過很容易判斷，因為期望計數和弓I用計數都增加 了。在第5次測量（t = 300秒）中，累計觀察計數為11，超過上限（10） o
然后判斷為“FAIL” o
b）通過情況見表D.4。
表D.4連續采樣粒子計數示例
| 噸（分鐘） | 噸〈秒） | 預期計數，E | 累計觀察計數的限制 | 間隔期間觀察到的計數 | 累積觀察計數，C | 結果 | |
| 上限，Cfail下限， | Cpass | ||||||
| ； | 60 | 1.0 | ； | 那 | 0 | 0 | 繼續 |
| 2-t- | 120 | 2.0 | 7 | 那 | 0 | 0 | 繼續 |
| if | 180 | 3.0 | 8個 | 那 | 0 | 0 | 繼續 |
| 4個 | 240 | 4.0 | 9 | 0 | 0 | 0 | 經過 |
第—次測量時提供的預期計數為1，0，累計觀察計數大于等于5時判定為“FAIL”。但當觀察計數在0~5之間時，則無法判 斷。在本示例中，繼續采樣，但累積觀察計數不增加。在第4次測量（t = 240秒）中，累計觀察計數為0，等于下限（0）。然后 判斷為“PASS” o
ISO 14644-l:2015(E)
附錄E (資料性)
中間十進制清潔度等級和粒徑閾值的規范
E.1中級十進制清潔度等級
如果需要中間十進位清潔度等級，則應使用表E.lo
表EU1供了允許的中間十進制空氣潔凈度等級。與粒子測量相關的不確定性使得小于0.5的增量是不合適的，并且 表下方的注釋標識了由于采樣和粒子收集限制弓起的限制。
表E.1按顆粒濃度分類的中間十進位空氣潔凈度等級
| ； | 粒子濃度(粒子/立方米)a | |||||
| ISO等級編號(N) | 0，1 | 0，2 | 0，3 | 0，5 | 1，0 | 5，0 |
| ISO等級1，5 | [32] b | d | d | d | d | ； |
| ISO等級2，5 | 316 | [75] b | [32] b | d | d | ； |
| ISO等級3，5 | 3 160 | 748 | 322 | 111 | d | ； |
| ISO等級4，5 | 31 600 | 7 480 | 3 220 | 1 110 | 263 | ； |
| ISO等級5，5 | 316 000 | 74 800 | 32 200 | 11 100 | 2 630 | ； |
| ISO等級6，5 | 3 160 000 | 748 000 | 322 000 | 111000 | 26 300 | 925 |
| ISO等級7，5 | c | c | c | 1 110 000 | 263 000 | 9 250 |
| ISO 等級 8，5f | c | c | C | 11 100 000 | 2 630 000 | 92 500 |
| a 表中的所有濃度都是累積的，例如，對于ISO等級5，5，0，5 |im處顯示的11100個顆粒包括所有等于和大于該尺寸的顆粒。b這些濃度將導致用于分類的大量空氣樣本。見附件D，順序取樣程序。C由于顆粒濃度特別高，濃度限值不適用于表中的這個區域。d低濃度顆粒的采樣和統計限制吏分類不合適。e由于采樣系統中潛在的粒子損失，低濃度和尺寸大于1 口m的粒子的樣本收集限制使得分類不合適。f該等級僅適用于運行狀態。 |
- E.?2中間粒徑
如果任何整數級或小數級都需要中間粒徑，則可以使用公式（E.1）來確定所考慮粒徑的較大顆粒濃度：
2 08
cn?X1°N?= – ‘ （E.l）
D
在哪里
Cn是等于和大于所考慮粒徑的空氣懸浮顆粒的較大允許濃度（每立方米顆粒數）。Cn四舍五入到接近的整數，使用不超過 三位有效數字；
N為I SO等級編號，不得超過9或” ‘；于1 ；
D是表1中未列出的所考慮的粒徑，單位為微米；
K是常數0，1，以微米表示。
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附錄F （資料性）
測試儀器
F.1簡介
本附錄描述了用于附錄A、C和D中推薦測試的測量儀器。
在本附錄中，表F.1和F.2中給出的數據表明H每項設備的必要要求。應根據客戶和供應商之間的協議選擇測量設備。
本附錄僅供參考，不應妨礙改進設備的使用。
替代測試設備可能是合適的，并且可以根據客戶和供應商之間的協議使用。
F.2儀器規格
下列儀器應用于附件A、C和D中給出的推薦測試：
a） 光散射（離散）氣載粒子計數器（LSAPC）；
注LSAPC的規范在ISO 21501-4:2007中給出。[1]
b） 離散大粒子計數器；
c） 飛行時碗度儀；
d） 濾紙上收集的顆粒的顯微測量。參見ASTM F312-8O ；[3] 這些儀器的術語和定義在第3節中給出。
表F.1離散大粒子計數器的規范
| 物品 | 規格小可檢測 |
| 測量極限 | 尺寸應在5至80 pm范圍內，并適合所考慮的顆粒尺寸和儀器能力。LSAPC的較大粒子數濃度應等 于或高于所考慮粒子的較大預期濃度 |
| 解決 | 制造商指定尺寸的校準顆粒為20 % |
| 指定尺寸設置下的粒子計數的較大允 | 許誤差為20% |
表F.2飛行時間粒度儀的規范
| 物品 | 規格 |
| 測量極限 | 粒徑0.5至20 um；顆粒濃度1.0 X 103/m3至1.0 X 108/m3空氣動力學直徑：1.0 |
| 解決 | Um時為0.02 nm； ；10微米時為0.03微米 |
| 較大允許誤差丄0 % of full readir | Jg |
參考書目
[1] ISO 21501-4:2007，粒度分布的測定 單粒子光相互作用法 第4部分:用于潔凈空間的光散射氣載粒子計數器
[2] ASTM F312-08繳觀尺寸和計數顆粒的標準測試方法 膜過濾器上的航空航天流體。ASTM國際
⑶ IEST-G-CC1003。空氣中大粒子的測量。環境科學與技術研究所，伊利諾伊州阿靈頓高地，1999年
[4] IEST-G-CC1004。用于潔凈室和潔凈區空氣顆粒潔凈度分類的順序采樣計劃。環境科學與技術研究所，伊利諾伊州阿
靈頓高地，1999年
⑸ JIS B 9920:2002，潔凈室空氣潔凈度分類。日本標準協會
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